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图片名称

RCA 清洗机

适用场景：实现6/8寸研磨、刻蚀、返工后等集成电路制造工艺的最终清洗
设备特点：
●设备实现自动作业，自动过程控制工艺、干燥作业的湿法工艺解决方案
●设备依据客户需求量身定做夹具
●具备IPA Dry、Spin Dry选择
●良好的设备稳定性和可靠性
●有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
●软件和硬件的模块化设计
●软硬件预留MES通讯接口
●实时记录生产数据，多种数据分析功能
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