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N2 Purge

设备功能：用于Load Port，提供氮气吹扫功能，达到降湿除尘的目的

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Heater

设备功能：用于控制EFEM中Particle（颗粒物）含量，还可以控制EFEM中的酸碱有机物及RH（相对湿度）

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