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多模块半自动机

多模块半自动机

具备IPA Dry、Spin Dry选择； 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量
酸碱腐蚀清洗机

酸碱腐蚀清洗机

具备IPA Dry、Spin Dry选择； 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量
有机清洗机

有机清洗机

具备IPA Dry、Spin Dry选择； 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量
RCA清洗设备

RCA清洗设备

具备IPA Dry、Spin Dry选择 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量
炉管清洗设备（Tube Cleaner -立式）

炉管清洗设备（Tube Cleaner -立式）

外形尺寸：L*W*H(单位mm)=2700×2200×2900mm (根据不同清洗规格而定)
炉管清洗设备（Tube Cleaner -卧式）

炉管清洗设备（Tube Cleaner -卧式）

外形尺寸：L*W*H(单位mm)=2600×2900 (包含排风阀，本体2710mm)×3500mm (包含机械臂罩，本体2720mm)
炉管清洗设备（EPI Cleaner ）

炉管清洗设备（EPI Cleaner ）

外形尺寸：L*W*H(单位mm)=3600×1900×2900mm（根据不同清洗规格而定）
光罩盒清洗设备(Auto POD Cleaner)

光罩盒清洗设备(Auto POD Cleaner)

外形尺寸：长*宽*高(单位mm) = 2500mmx1650 mmx 2400 mm
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