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槽式湿法设备(Cassette Less )

槽式湿法设备(Cassette Less )

1.占地面积小  2.单位产出高  3.优化的空气和槽体流场 
Semi-auto FOUP Cleaner

Semi-auto FOUP Cleaner

外形尺寸：L*W*H(单位mm)==2100x1500x2700mm（可分体进场，最低进入高度为2300mm）
单片湿法设备-背面腐蚀清洗 BGBM

单片湿法设备-背面腐蚀清洗 BGBM

外形尺寸：L*W*H(单位mm)=2870mmx2000mm×2130mm(分体进场，不同配置长度会变化)
单片湿法设备-金属剥离-Metal lift off

单片湿法设备-金属剥离-Metal lift off

外形尺寸：长 x 宽x高(单位mm)=2470mmx2000mm×2130mm(分体进场，不同配置长度会变化)
槽式湿法设备(Cassette Type)

槽式湿法设备(Cassette Type)

1.占地面积小  2.单位产出高  3.优化的空气和槽体流场 
马兰格尼干燥(Marangoni Dryer)

马兰格尼干燥(Marangoni Dryer)

外形尺寸：长 x 宽x高(单位mm)=2130mmx1050mm×3050mm
全自动腐蚀机

全自动腐蚀机

单体全自动机

单体全自动机

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